可針對Local Scrubber進行尾氣量測，分析與計算尾氣處理效率DRE值是否有達到廠內驗收標準，以及協助科技廠進行製程改善專案(Cost down)討論如何降低製程氣體(PFCs)使用量並可以達到相同良率，廠區方面可以對煙囪排放的氣體進行定性或定量分析，協助客戶降低溫室氣體排放。