FTIR氣體分析技術 2022.04.11
FTIR 氣體分析技術
一、簡介
FTIR（傅立葉轉換紅外光譜儀）的檢測原理是利用紅外光穿透待測氣體樣品時，分子因振動而吸收特定頻率的光能。由於不同氣體分子具有各自特有的紅外吸收光譜，可藉由此特性對氣體進行定性與定量分析
二、Technical Characteristics (技術特色)
1.製程尾氣資料庫
內建吸收光譜資料庫，量測時即時與數據資料庫進行比對，快速辨識化學物種。
2.即時分析
> 利用 FTIR 的光譜分析特性，同步分析多達 30 種氣體成分
>光譜解析度可達 0.7 cm⁻¹，並具備高靈敏度與優異的訊雜比 (SNR)
3.高靈敏性
>透過長光程氣體檢測路設計，即使在微量濃度下仍能有效偵測氣體濃度
>靈敏度可達 ppb 至 ppm 等級，滿足多數製程尾氣監控需求
三、應用與效益 Applications and Benefit
1.可針對Local Scrubber型程尾氣處理效率(DRE)做分析計算
2.毒性氣體監控、溫室氣體排放計算 (如 CF₄、SF₆)、DRE (氣體處理效率) 評估
3.製程監控、環境監測、設備異常預警系統
PMC-FTIR聯絡窗口：
🌸 林啓維 Wayne Lin / 工程師
電話｜04-23599009 #325
電郵｜e10923@mail.pmc.org.tw
🌸 葉明宗 Mike Ye / 經理
電話｜04-23599009 #301
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