半導體氣體處理效能檢測分析技術 2021.01.22

一、現況背景
1.SEMI S2檢驗服務對象包含國內/外科技廠。
2.科技廠對安全/環保問題日趨重視。
3.基於安全及環保，各大科技廠需第三公證單位提供氣體處理效能檢測服務。

二、導入技術
1.除已經具備之安全評估技術(SEMI S2)、電器安全技術(SEMI S22、SEMI F47)與氣體追蹤檢測(SEMI S6)之外，更導入國際環保趨勢之Scrubber氣體處理效能檢測分析技術。
2.建立FTIR氣體處理效能分析評估技術
(1)引進具科技廠製程工作經驗人才。
(2)導入氣體處理效能量測裝置。
(3)搭配氣體處理設備廠商技術合作。
(4)訓-測結合，累計專業技能與經驗。

三、成果效益
1.建立尾氣處理裝置(local scrubber)完整檢測/驗證服務能量。
2.發展檢測新技術，填補科技廠檢驗服務能量缺口。
3.擴大服務能量，滿足客戶第三方公證需求。