| 發佈日期：2009/12/02 |
以精細複合加工機構設計技術為基礎，整合三點支撐架構、獨立式溫控結構設計、ATC及切屑收集裝置設計，並考量結構組配程序設計，發展精細切削加工製程優化技術，以硬脆材質之最佳化加工參數設定為目標，同時研發機台穩定性控制、PC-Based數位監控設計及加工視覺輔助系統整合設計技術，除了奠定精細加工設備開發的基礎，也提供次微米的精細加工能量來滿足業界目前的需要。透過本技術驗證模組與關鍵零組件研發過程所累積的經驗，順利協助業界規劃其現有產品之技術佈局，或成為其未來產品開發的核心項目之ㄧ。
1.透過技轉與分包研究之合作機制，成功建立補償量測系統暨其人機介面定位精度分析技術。
2.藉由ANCA數控系統在磁阻補償、摩擦力補償及切換死區補償等三構面之非線性補償機能，可輕易地從PC-Based之CNC控制器對線性平台運動施以軟體之誤差補償。
圖左為電流環PI+誤差補償控制器微步進實驗。
電流環加入切換死區補償機能後，以每步100nm與500nm寸動，皆可獲得良好動態反應，顯示ANCA伺服驅動器對切換死區補償機能有良好作用。
3.成功發展精細加工設備開發技術，並搭配國內新興開放式架構之整合型伺服控制系統（PC-Based）作為數控載具，藉由精密零組件的切削加工技術應用，可將微細加工技術能量擴展到光學及生醫產業等精密模具開發領域。
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