| 發佈日期：2009/12/02 |
微細零組件的特徵是尺寸通常小於10mm以下，其表面也常需要做出1～數百μm大小的微結構。因此，針對這些微小精密零組件的需求，精微加工設備的開發就顯得十分重要，故精密機械研究發展中心(PMC)分別於於2007年及2009年在台北工具機展所發表的三軸立式及門型精微加工設備(如圖一及圖二所示)，期望能藉由設備技術之開發，帶動台灣機械產業技術提升，及增加國際市場競爭能力。
圖一. 立式精微加工設備外觀
表一. 立式精微加工設備規格
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機台種類
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三軸立式精微加工機
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整機大小
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1150mm×1000mm×1850mm
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機身結構材料
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人造花崗岩
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隔振方式
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被動式隔振系統；採用氣體隔振，一階自然頻率: 水平2.5Hz、垂直2.3Hz
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移動平台
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行程(X×Y×Z, mm)
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150mm×150mm×150mm
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驅動系統
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X/Y：線性馬達；
Z：滾珠導螺桿＋DC無刷伺服馬達
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精度
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X/Y：±0.2 µm；
Z：±1 µm
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重覆性
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X/Y：±50 nm；
Z：±0.5 µm
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軸承種類
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X/Y：空氣軸承；
Z：機械軸承
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最大速度
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X/Y：150 mm/sec；
Z：75 mm/sec
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主軸
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最大轉數(rpm)
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120,000
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軸承種類
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陶珠軸承
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潤滑方式
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油－汽潤滑
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冷卻方式
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水冷卻
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控制器
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控制系統
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PC-Based 的CNC控制器，可在Windows視窗環境下操作，並具有彩色觸控式面板
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程式解析度
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10 nm
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監測裝置
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500倍錄、放影監控設備
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圖二. 門型精微加工設備外觀
表二. 門型精微加工設備規格
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機台種類
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三軸門型精微加工機
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整機大小
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1600mm×1500mm×1900mm
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機身結構材料
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人造花崗岩
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隔振方式
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隔振墊片
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工作台面積
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310mm×230mm
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工作台承載重量
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50kg
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移動平台
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行程(X×Y×Z, mm)
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160mm×210mm×210mm
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驅動系統
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線性馬達
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精度
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±0.3µm |
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解析度
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10 nm
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滑軌種類
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交叉滾柱滑軌
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最大速度
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15,000 mm/min
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主軸
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最大轉數(rpm)
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大主軸：30,000 rpm
小主軸：150,000 rpm
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軸承種類
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陶珠軸承
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潤滑方式
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油－汽潤滑
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冷卻方式
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大主軸：水冷卻
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驅動方式
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大主軸：內藏式馬達
小主軸：氣壓驅動
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刀把型式
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HSK–E40
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控制器
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控制系統
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PC-Based 的CNC控制器，可在Windows視窗環境下操作，並具有彩色觸控式面板
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型號
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ANCA 5DX
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刀庫容量
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8把刀具
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刀尖與刀徑檢測裝置
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RENISHAW非接觸式刀具檢測裝置
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 聯絡資料
聯絡人:柳兆麒 副理
聯絡電話: 04-23595968 Ext:611
電子信箱:e9001@mail.pmc.org.tw |
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